.MCAD 310000000 \  docDocument MmcObject[VV d2_graph_format graphData% axisFormat)L)Ltrace2D&&&&&&&&& & & & & &&& dim_formatTmasslengthtimecharge temperature luminosity substanceNumericalFormatQdii  shpRectVH mcDocumentObjectState\ mcPageModelK_I?_I?].?].?mcHeaderFooterI@I |P  CHeaderFooterJ@J{n}@J@J MbP?MbP? TextState? TextStyle>@ ArialSerial_ParPropDefaultW?Normal>@Arial@W? Heading 1>@ Arial@W? Heading 2 >@ Arial@W? Heading 3 >@ Arial@W3 Paragraph >@ Arial@W3List >@ Arial@W>Indent >@Times New Roman@W/Title>@Times New Roman@W/Subtitle font_style_listO font_styleP  VariablesTimes New Roman@P  ConstantsTimes New Roman@P TextArial@P Greek VariablesSymbol@P User 1Arial@P User 2 Courier New@P User 3System@P User 4Script@P User 5Roman@P User 6Modern@P User 7Times New Roman@P SymbolsSymbol@P Current Selection FontArial@P Undefined Font@P HeaderArial@P FooterArial@P Rotated Math FontTimes New Roman TextRegion* docRegionGshpBoxU$ 9BCC CharacterMap-RangeMap;&Parallel Plate Capacitance Calculator  ChrPropMap7%%& RangeElem<% ChrPropData8 RangeData=|0,0,128<8 ParPropMap9&<& ParPropData:@W?EmbedMap1<LinkMap/&<&LinkData0@NormalArial *@U(3uS(@>MM M -7Chris Haji-Michael http://www.sunshadow.co.uk/chris.htm77<8l Arial0,0,128<78l Arial0,0,12897<7:@W/1 </7!<7"0@NormalArial #*@Ucfp:VV`V`-A This sheet is used to calculate the capacitance obtained from parallel plate capacitors using three different formulas from the VLSI handbook, CRC press. The Area (A) = Width * Length The graph below is drawn for Length = 10um Thickness = thickness of the metal 7 $< %8#0,0,1289 &< ':@W1(</ )< *0@NormalArial +eqRegionB@UY)C,tree@ p-@@ ,.@@d-\mm/@@-0@@@/1@@t0102@@K03@@264@@/m5@B@UxN6@@ p7@@ 68@@d7nm9@@7:@@@9;@@t:10<@@K:=@@<9>@@9m?@B@UM@@@@ p@A@@ @@@B@@d@A\e.o@C@@@A@D@@@@C@E@@t@D  8.854187817@F@@@D@G@@t@F10@H@@K@F@I@@@H12@J@@@C@K@@d@Jfarad@L@@@Jm@M@B@U F!E@N@@ p@O@@ @N@P@@d@Od@Q@@@O@R@@t@Q8@S@@@Q\mm@T@B@U!50@U@@ p@V@@ @U@W@@d@VfF@X@@@V@Y@@@@X@Z@@t@Y10@[@@K@Y@\@@@[15@]@@@XF@^ BitmapRegion PictureRegionF@U0W0J@_ mc_dibitmap Y%(Y%@`@B@U+>@$8R@a@@ p@b@@ @a@c@@d@b\e.r@d@@@b4.1@e@B@UL}]PXS@f@@ p@g@@ @f@h@@d@g Thickness@i@@@g@j@@t@i200@k@@@inm@l*@UvBff- Conventional7 @m< @n8@ll Arial0,0,1289 @o< @p:@W?1@q</ @r< @s0@NormalArial @t@B@U?@u@@ p@v@@ @u@w@@@@v@x@@d@w ConventionalC@y@@p@w@z@@ @y@{@@d@zWidth@|@@@zLength@}@@@v@~@@@@}@@@@@~@@@@@@@@d@\e.r@@@@\e.o@@@@Width@@@@~Length@@@@}d@*@UB{{-Yuan's Formula 7@<@8@l Arial0,0,128@<@8@@@@9@<@:@W?1@</@<@0@NormalArial @@B@Uq>}@@@ p@@@ @@@@@@@@@d@YuanC@@@p@@@@ @@@@d@Width@@@@Length@@@@@@@@@@@@@@@@@d@\e.r@@@@\e.o@@@p@@@@@@@@@@@@@@@@@@d@Width@@@@d@@@@@@@@@@@@t@2@@@@\p@@@@@@@d@ln@@@p@@@@@@@@t@1@@@@@@@p@@@@@@@@@@@@@@t@2@@@@d@@@@ Thickness@@@p@@@@@@@@t@1@@@{@@@@@@@@t@1@@@@@@@d@ Thickness@@@@d@@@@@@@d@ Thickness@@@@@@@t@2@@@@d@@@@Length@*@UQd`B-Sakurai's Formula 7@<@8@l Arial0,0,128@<@8@@@@9@<@:@W?1@</@<@0@NormalArial @@B@Uk@@@ p@@@ @@@@@@@@@d@ SakuraiC@@@p@@@@ @@@@d@Width@@@@Length@@@@@@@@@@@@@@@@@d@\e.r@@@@\e.o@@@p@@@@@@@@@@@@@@@@@@d@Width@@@@d@@@@@@@t@0.15@@@@@@@d@Width@@@@d@@@@@@@t@2.8@@@@@@@p@@@@@@@@@d@ Thickness@@@@d@@@@0.222@@@@Length@*@UB-Meijs & Fokkema Formula 7@<@8@l Arial0,0,128@<@8@@@@9@<@:@W?1@</@<@0@NormalArial @@B@U&@@@ p@@@ @@@@@@@@@d@MFC@@@p@@@@ @A@@d@WidthA@@@LengthA@@@A@@@AA@@@AA@@dA\e.rA@@A\e.oA@@pAA@@AA @@@AA @@@A A @@dA WidthA @@A dA @@A 0.77A@@AA@@tA1.06A@@pAA@@AA@@@AA@@p@AA@@AA@@dAWidthA@@AdA@@A0.25A@@AA@@p@AA@@AA@@dA ThicknessA@@AdA@@A0.5A@@ALengthA*@U9^LHBNN-+Average Capacitance & Calculation of Error 7**+A <*A!8Al Arial0,0,128A"<A#8AA A"A 9+A$<+A%:@W?1A&</+A'<+A(0@NormalArial A)@B@U[pA*@@ pA+@@ A*A,@@@A+A-@@dA, AverageCA.@@pA,A/@@ A.A0@@dA/WidthA1@@A/LengthA2@@A+A3@@@A2A4@@tA31A5@@A34A6@@pA2A7@@6A6A8@@@A7A9@@@A8A:@@dA9 ConventionalCA;@@pA9A<@@ A;A=@@dA<WidthA>@@A<LengthA?@@A8A@@@dA?YuanCAA@@pA?AB@@ AAAC@@dABWidthAD@@ABLengthAE@@A7AF@@@AEAG@@dAF SakuraiCAH@@pAFAI@@ AHAJ@@dAIWidthAK@@AILengthAL@@AEAM@@dALMFCAN@@pALAO@@ ANAP@@dAOWidthAQ@@AOLengthAR*@UfK(VVV0V0-@This graph shows the capacitance for a 500um x 1um track on an IC spaced 8um from the substrate which is assumed to be a ground plane. At these dimensions the conventional capacitance equation does not work because of the large fringing affect.7AS<AT8AR0,0,1289AU<AV:@W1AW</AX<AY0@NormalArial AZ@B@UcuDpQA[@@ pA\@@ A[A]@@dA\WidthA^@@A\A_@@ @A^A`@@@A_Aa@@tA`0.5Ab@@A`\mmAc@@A_Ad@@tAc1Ae@@Ac\mmAf@@A^Ag@@tAf3Ah@@Af\mmAi@B@UpAj@@ pAk@@AjAl@@@AkAm@@@AlAn@@@AmAo@@@AnAp@@tAo5Aq@@AoAr@@tAq10As@@KAqAt@@As14Au@@AnAv@@tAu1.134Aw@@AuAx@@tAw10Ay@@KAwAz@@Ay15A{@@AmA|@@@A{A}@@A{A~@@ AlA@@ @A~A@@ @AA@@@AA@@dA ConventionalCA@@pAA@@ AA@@dAWidthA@@AA@@tA500A@@A\mmA@@AA@@dAYuanCA@@pAA@@ AA@@dAWidthA@@AA@@tA500A@@A\mmA@@AA@@dA SakuraiCA@@pAA@@ AA@@dAWidthA@@AA@@tA500A@@A\mmA@@A~A@@dAMFCA@@pAA@@ AA@@dAWidthA@@AA@@tA500A@@A\mmA@@AkA@@@AA@@@AA@@vA3A@@A0A@@AA@@@AA@@AA@@AA@@dAWidthA@@A\mmA 4" ))Capacitance vs Width&&&&&&&&& & & & & &&&